کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
9700841 1462130 2005 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
CIP (cleaning-in-place) suitable “non-glass” pH sensor based on a Ta2O5-gate EIS structure
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی آنالیزی یا شیمی تجزیه
پیش نمایش صفحه اول مقاله
CIP (cleaning-in-place) suitable “non-glass” pH sensor based on a Ta2O5-gate EIS structure
چکیده انگلیسی
“Non-glass” pH-sensitive capacitive EIS (electrolyte-insulator-semiconductor) sensors consisting of a Ta2O5-gate have been investigated in terms of their CIP (cleaning-in-place) suitability. After optimisation of the process parameters, even after 30 CIP cycles, the sensors show a clear pH response and nearly linear calibration curve. The video-microscopic and scanning electron microscopy investigations do not show any visible degradation or destruction of the Ta2O5 films.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators B: Chemical - Volumes 111–112, 11 November 2005, Pages 423-429
نویسندگان
, , , , ,