کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9700859 | 1462130 | 2005 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Characterization of polymer layers for silicon micromachined bilayer chemical sensors using white light interferometry
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی آنالیزی یا شیمی تجزیه
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The swelling behavior of polymer layers used in silicon micromachined bilayer structures is studied using white light interferometry. The study focuses on poly-hydroxy-ethyl-methacrylate (PHEMA) films and their behavior in terms of film expansion, response time and sensitivity upon exposure to methanol and ethanol vapors. Thin films of PHEMA exhibit higher relative swelling than thicker films, in the presence of methanol, as well as lower diffusion coefficients corresponding to higher response times.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators B: Chemical - Volumes 111â112, 11 November 2005, Pages 549-554
Journal: Sensors and Actuators B: Chemical - Volumes 111â112, 11 November 2005, Pages 549-554
نویسندگان
D. Goustouridis, K. Manoli, S. Chatzandroulis, M. Sanopoulou, I. Raptis,