![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Enhancement of c-axis texture of AlN films by substrate implantation
Keywords: 77.84 دلار; 61.72.ây; 77.84.Bw; 68.37.Hk; 61.10.Nz; Ion implantation; Aluminum nitride (AlN); Field emission scanning electron microscope (FESEM); X-ray diffractometer (XRD);