![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Characterization of thin films on the nanometer scale by Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy
Keywords: 79.60.-من; 68.55.Jk; 79.20.Ap; 79.20.Fv; 79.60.âI; 82.80.Pv.; Auger electron spectroscopy; AES; Databases; Film thicknesses; Quantitative analysis; Spectrum simulation; X-ray photoelectron spectroscopy; XPS;