![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Silicon shallow doping by erbium and oxygen recoils implantation
Keywords: A. سیلیکون; A. Erbium; A. Oxygen; A. Silicon; B. Annealing; B. Shallow recoil implantation; D. Recoils; D. Recrystallization; D. Segregation; E. TEM; E. EDS;