![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
A high performance humidity sensor based on surface acoustic wave and graphene oxide on AlN/Si layered structure
Keywords: AlN فیلم نازک; Humidity sensor; Surface acoustic wave; Graphene oxide; AlN thin film; Highly doped Si;