![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Structure and morphology of aluminium doped Zinc-oxide layers prepared by atomic layer deposition
Keywords: دوپینگ آلومینیوم; Atomic layer deposition; TCO; ZnO; Aluminium doping; XRD; Resistivity; Orientation