![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Electron irradiation-enhanced water and hydrocarbon adsorption in EUV lithography devices
Keywords: روی سطح; EUV lithography; Adsorption; Au surface; Secondary electrons; Assisted adsorption;