![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Ga-doped ZnO films magnetron sputtered at ultralow discharge voltages: Significance of controlling defect generation
Keywords: نابودی نقص; Gallium-doped zinc oxide; Thin films; Magnetron sputtering; Defect generation; Defect annihilation;