![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Characterization of hydrogenated amorphous silicon thin films prepared by magnetron sputtering
Keywords: اندازه گیری FTIR; 71.23.Cq; 78.66.Jg; 81.05.Gc; 81.15.CdSputtering; Silicon; Photovoltaics; X-ray diffraction; FTIR measurements