![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Injected ion energy dependence of SiC film deposited by low-energy SiC3H9+ ion beam produced from hexamethyldisilane
Keywords: هگزامتایلیدسیلان; Low-energy ion beam; Silicon carbide; Diamond-like carbon; Hexamethyldisilane;