![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
HiPIMS deposition of silicon nitride for solar cell application
Keywords: نیترید سیلیکون هیدروژن; Hydrogenated silicon nitride; Reactive HiPIMS deposition; Passivation, anti-reflection coatings; Optical and mechanical properties;