![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Fluence-dependent sputtering yield of micro-architectured materials
Keywords: تعامل یون سطح; Sputtering; Argon plasma; Micro-architecture; Self-healing; Ion-surface interaction; Surface roughness;