Keywords: رزوناتور میکرومکانیکی; Micromechanical resonator; Temperature sensor; Atmospheric pressure; Mass sensitivity; Humidity
مقالات ISI رزوناتور میکرومکانیکی (ترجمه نشده)
مقالات زیر هنوز به فارسی ترجمه نشده اند.
در صورتی که به ترجمه آماده هر یک از مقالات زیر نیاز داشته باشید، می توانید سفارش دهید تا مترجمان با تجربه این مجموعه در اسرع وقت آن را برای شما ترجمه نمایند.
در صورتی که به ترجمه آماده هر یک از مقالات زیر نیاز داشته باشید، می توانید سفارش دهید تا مترجمان با تجربه این مجموعه در اسرع وقت آن را برای شما ترجمه نمایند.
Dependence of temperature coefficient of frequency (TCf) on crystallography and eigenmode in N-doped silicon contour mode micromechanical resonators
Keywords: رزوناتور میکرومکانیکی; Temperature coefficient of frequency; Micromechanical resonator; Single crystal silicon; Doping concentration; Microelectromechanical systems (MEMS)
Effects of electron beam induced carbon deposition on the mechanical properties of a micromechanical oscillator
Keywords: رزوناتور میکرومکانیکی; Electron beam carbonization; Micromechanical resonator; Surface tension; Contamination sensor
Microelectromechanical resonator manufactured using CMOS-MEMS technique
Keywords: رزوناتور میکرومکانیکی; Micromechanical resonator; CMOS; Microactuator