![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
High resolution X-ray and electron microscopy characterization of PZT thin films prepared by RF magnetron sputtering
Keywords: فاز Perovskite; PZT; RF sputtering; Perovskite phase; Residual stress; X-ray reflectometry; Cross sectional transmission electron microscopy;