![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Effects of catalyst concentration and ultraviolet intensity on chemical mechanical polishing of GaN
Keywords: اکسیداسیون فوتوکاتالیستی; GaN; Chemical mechanical polishing; Catalyst concentration; Photocatalytic oxidation; Ultraviolet intensity;