![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Motion control of piezoceramic actuators with creep, hysteresis and vibration compensation
Keywords: محرک پیزوکراتیک; Piezoceramic actuator; Hysteresis; Creep; Vibration; Motion control; Nanopositioning