![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
DC/RF magnetron sputter deposition and characterisation of Ca3Si2N2O4:Eu2+ luminescent thin films
Keywords: آنیل گرمایی سریع; Magnetron sputtering; Luminescent thin film; Oxynitride materials; Rapid thermal anneal;