![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Deposition of Cr-Si-Ni-Mo films at a low sputtering current and performance of heat and humid resistance
Keywords: فیلم های مقاومت; Resistive films; Temperature coefficient of resistance; Magnetron sputtering; Heat resistance; Humid resistance; Water sensitivity;