![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Ultra-thin MoO3 film goes wafer-scaled nano-architectonics by atomic layer deposition
Keywords: فیلم نیمه هادی; MoO3; Atomic layer deposition; Semiconductor films; Electrochemical sensor;