![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Characteristics of amorphous carbon films prepared by hybrid RF (195 kHz) plasma triggered by shunting arc discharge
Keywords: قوس شندنج; Shunting arc; Plasma-based ion implantation; Hybrid plasma; Methane; Carbon