![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Al-doped ZnO films deposited on a slightly reduced buffer layer by reactive dc unbalanced magnetron sputtering
Keywords: لایه تنش; Transparent conducting oxide (TCO); Reactive sputtering; Al-doped ZnO (AZO); Buffer layer; Crystallinity; Strained layer