![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
In-situ structural investigation of non-stoichiometric HfO2-x films using quick-scanning extended X-ray absorption fine structure
Keywords: تحقیقات ساختاری; Hafnium oxide; Non-stoichiometric; Thin films; Structural investigations; Time-resolved in-situ QEXAFS; Avrami kinetics; Crystallization kinetics