![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Design and characterization of micromachined sensor array integrated with CMOS based optical readout
Keywords: آشکارساز حرارتی; Thermal detector; MEMS & CMOS integration; Optical readout; Diffraction grating; Fourier optics