![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Keywords: حسگرهای فیلم نازک; A; area; α; lattice constant; ACM; common mode gain; Ad; differential gain; B; conductivity factor; CMRR; common mode rejection ratio; D; beam length; E; energy; Ô; electric field; F; force; GF; gauge factor; H; planck's constant; I; inertia; â; ele