![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Impact of ion energies in Ar/H2 capacitively coupled radio frequency discharges on PEALD processes of titanium films
Keywords: فلز تیتانیوم; PEALD; Titanium metal; Capacitively coupled discharge; Ion energy;