![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Piezoelectric sensing of electrothermally actuated silicon carbide MEMS resonators
Keywords: تنظیم; MEMS resonator; Silicon carbide; Piezoelectric sensing; Electrothermal actuation; Tuning