کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10400129 | 890885 | 2005 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Nonlinear system identification of rapid thermal processing
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی هوافضا
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Nonlinear system identification of rapid thermal processing Nonlinear system identification of rapid thermal processing](/preview/png/10400129.png)
چکیده انگلیسی
Identification of rapid thermal processing parameters is examined to find a more accurate model to predict and control the temperature of semiconductor wafers during processing. In this paper, a Wiener model is applied to identify the significant dynamics of an RTP system. A recursive method is developed to simultaneously estimate the model parameters and states with respect to parameter variation in RTP systems under process noise. The identification result shows that the model's prediction error was greatly reduced as compared to a linear model. The proposed method can also be easily applied to model-based adaptive control.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Control Engineering Practice - Volume 13, Issue 6, June 2005, Pages 681-687
Journal: Control Engineering Practice - Volume 13, Issue 6, June 2005, Pages 681-687
نویسندگان
Caizhong Tian, Takao Fujii,