کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10409679 | 894101 | 2005 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Infrared integrated optical evanescent field sensor for gas analysis
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Infrared integrated optical evanescent field sensor for gas analysis Infrared integrated optical evanescent field sensor for gas analysis](/preview/png/10409679.png)
چکیده انگلیسی
The high step in refractive index between silicon core and gas allows very small bending radii so that a sufficiently long waveguide can be realised on small chip area (about 1Â m on 1Â cm2). The waveguide is patterned as a spiral or a meander in the wafer plane. A suitable freestanding cross section profile is realized by a sequence of anisotropic dry etching, oxidation and isotropic dry etching of crystalline silicon bulk material.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 119, Issue 2, 13 April 2005, Pages 584-592
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 119, Issue 2, 13 April 2005, Pages 584-592
نویسندگان
Ralf Siebert, Jörg Müller,