کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی ترجمه فارسی نسخه تمام متن
10420331 904801 2014 7 صفحه PDF سفارش دهید دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Large-area profile measurement of sinusoidal freeform surfaces using a new prototype scanning tunneling microscopy
ترجمه فارسی عنوان
اندازه گیری پروفایل سطح بزرگ سطح سطوح آزاد سینوسی با استفاده از میکروسکوپ تونلی اسکن نمونه اولیه جدید
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
سفارش ترجمه تخصصی
با تضمین قیمت و کیفیت
کلمات کلیدی
میکروسکوپ تونلی اسکن کردن، مشخصات سطح، سطوح سینوسی فوق العاده دقت، اندازه گیری بزرگ منطقه،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی صنعتی و تولید
چکیده انگلیسی
This paper presents large-area profile measurement of ultra-precision diamond turned sinusoidal surfaces by using a specially developed scanning tunneling microscopy (STM). The new prototype of STM system employs a long stroke PZT servo actuator as the Z-directional scanner, an integrated capacitance displacement sensor to accurately measure the Z-directional profile height, a motorized stage with long traveling stroke for carrying out large-area scanning. A simple method for self-calibration of the inevitable sample tilt is proposed in order to achieve large-area measurement without tip-crashing or losing of tip-sample interaction. Several types of ultra-precision machined sinusoidal freeform surfaces with different geometrical parameters are measured by the new STM system over large scanning areas at the scale of millimeters. Specially, a sinusoidal surface with peak-valley amplitude of 22 μm and periodical wavelength of 550 μm is successfully measured and imaged by the STM system. The measurement repeatability error, repeatability standard deviation and measured profile deviation are also evaluated. It is confirmed that the new STM system is capable of carrying out large-area as well as large-amplitude measurement of the ultra-precision machined sinusoidal surfaces.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Precision Engineering - Volume 38, Issue 2, April 2014, Pages 414-420
نویسندگان
, , , , ,
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
سفارش ترجمه تخصصی
با تضمین قیمت و کیفیت