کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10420585 | 905114 | 2013 | 11 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Deformable mirrors with thermo-mechanical actuators for extreme ultraviolet lithography: Design, realization and validation
ترجمه فارسی عنوان
آینه های قابل انعطاف با محرک های حرارتی مکانیکی برای لایتوگرافی افراطی ماوراء بنفش: طراحی، تحقق و اعتبارسنجی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
اپتیک سازگار، لیتوگرافی نوری، آینه های قابل انعطاف، گرمایش آینه،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی صنعتی و تولید
چکیده انگلیسی
⺠Two deformable mirrors for EUV lithography are modeled, realized and validated. ⺠Seven and 19 thermo-mechanical actuators are used for axial deformation. ⺠Mirror deflections of 0.68 nm per degree Celsius are realized and no hysteresis is observed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Precision Engineering - Volume 37, Issue 2, April 2013, Pages 353-363
Journal: Precision Engineering - Volume 37, Issue 2, April 2013, Pages 353-363
نویسندگان
S.K. Ravensbergen, P.C.J.N. Rosielle, M. Steinbuch,