کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10630975 | 991532 | 2012 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A comparison of structures and properties of SiNx and SiOx films prepared by PECVD
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سرامیک و کامپوزیت
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: A comparison of structures and properties of SiNx and SiOx films prepared by PECVD A comparison of structures and properties of SiNx and SiOx films prepared by PECVD](/preview/png/10630975.png)
چکیده انگلیسی
⺠We prepared SiOx and SiNx films by PECVD and investigated their structures and properties. ⺠Compared with SiOx, SiNx films exhibit better optical and mechanical properties. ⺠SiNx films are more suitable to be used in VOx-based infrared microbolometers. ⺠Micro-Raman spectroscopy exhibits advantage in characterizing amorphous thin films.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Non-Crystalline Solids - Volume 358, Issue 1, 1 January 2012, Pages 99-106
Journal: Journal of Non-Crystalline Solids - Volume 358, Issue 1, 1 January 2012, Pages 99-106
نویسندگان
Xiangdong Xu, Liangchang Zhang, Long Huang, Qiong He, Taijun Fan, Zhuo Yang, Yadong Jiang, Zhanping Li,