کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10644583 | 999651 | 2005 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Origin and FEM-assisted evaluation of residual stress in thermally oxidized porous silicon
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مکانیک محاسباتی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The origin of residual strain is investigated in thermally oxidized porous silicon structures by computer supported finite element modeling. Based on theoretical approaches, unit cell series were developed to simulate the porous matter and its oxidation process. It is found that the residual strain is caused by both thermal and intrinsic stress components. The results show strain values between 1.69Â ÃÂ 10â3 and 2.26Â ÃÂ 10â3 according to the different oxidation extent, which is in good agreement with the experimental strain data obtained by XRD.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Computational Materials Science - Volume 34, Issue 2, September 2005, Pages 123-128
Journal: Computational Materials Science - Volume 34, Issue 2, September 2005, Pages 123-128
نویسندگان
Géza Tóth, Krisztián Kordás, Andrea Edit Pap, Jouko Vähäkangas, Antti Uusimäki, Seppo Leppävuori,