کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
10673405 1010245 2015 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Magnet assisted stage for vibration and heat reduction in wafer scanning
ترجمه فارسی عنوان
مرحله مگنت برای ارتعاش و کاهش گرما در اسکن ویفر کمک می کند
کلمات کلیدی
سیستم سروو، لرزش، بهره وری انرژی،
ترجمه چکیده
مراحل اسکن وفرهای باید در سرعت های حرکتی سریعتر و سریعتر برای دستیابی به کارایی بالا ارائه شوند. نیروهای ناشی از آن باعث ارتعاش چارچوب دستگاه و گرمای بیش از حد موتورهای خطی موتور می شود، بنابراین دقت و افزایش هزینه های مراحل را کاهش می دهد. طراحی مرحله جدید ارائه شده در این مقاله با استفاده از انفجار مغناطیسی برای ارائه نیروهای کمک به موتورهای خطی در طی شتاب / کاهش سرعت برای کاهش نیروی نیروی برشی و بیش از حد حرارت استفاده می شود. ارتعاش با انتقال نیروهای کمک به زمین، نه قاب دستگاه کاهش می یابد. به ترتیب 66٪ و 55٪ در ارتعاش و گرما، با استفاده از یک نمونه اولیه نشان داده شده است.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی صنعتی و تولید
پیش نمایش مقاله
مرحله مگنت برای ارتعاش و کاهش گرما در اسکن ویفر کمک می کند
چکیده انگلیسی
Wafer scanning stages must deliver high accelerations/decelerations at motion reversals to achieve high productivity. The resulting inertial forces cause vibration of the machine frame and overheating of the linear motor actuators, thus diminishing the accuracy and increasing the cost of the stages. The novel stage design presented in this paper uses magnetic repulsion to provide assistive forces to the linear motors during acceleration/deceleration to reduce actuation force requirements and overheating. Vibration is reduced by transmitting the assistive forces to the ground, not the machine frame. 66% and 55% reduction in vibration and heat, respectively, are demonstrated using a prototype stage.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: CIRP Annals - Volume 64, Issue 1, 2015, Pages 381-384
نویسندگان
, ,