کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10674648 | 1010322 | 2007 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A Newly Developed Linear Motor-Driven Aerostatic X-Y Planar Motion Table System for Nano-Machining
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی صنعتی و تولید
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The importance of nano-machining processes is continually increasing in a wide range of industries. In particular, the demands for machining with stable nanometer order accuracy in a wide work area have recently increased in the electronics and automotive industries. In order to meet such industrial requirements, it is necessary to develop an ultraprecision machine tool based on a new design concept. Therefore, in this study, a novel linear motor-driven aerostatic planar motion table system was developed for nano-machining. The results of actual machining tests confirmed that the developed table system has a remarkable performance.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: CIRP Annals - Volume 56, Issue 1, 2007, Pages 369-372
Journal: CIRP Annals - Volume 56, Issue 1, 2007, Pages 369-372
نویسندگان
H. Shinno, H. Yoshioka, K. Taniguchi,