کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10676183 | 1011272 | 2005 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Layer uniformity of glancing angle deposition
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Some results of an investigation on the layer thickness uniformity of glancing angle deposition are presented. A zirconia monolayer has been deposited by glancing angle deposition to analyze the layer thickness uniformity. The experimental results indicate that the thickness variation over the substrate is less than 0.1%, which is considered as good uniformity. It is found that the non-uniformity of experimental results is larger than that of the theoretical results.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 78, Issue 1, 4 April 2005, Pages 107-111
Journal: Vacuum - Volume 78, Issue 1, 4 April 2005, Pages 107-111
نویسندگان
Jianguo Wang, Jianda Shao, Kui Yi, Zhengxiu Fan,