کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
11004316 1470554 2018 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Porosity and roughness determination of porous silicon thin films by genetic algorithms
ترجمه فارسی عنوان
تعیین زبری و زبری از فیلم های نازک سیلیکون متخلخل بر اساس الگوریتم های ژنتیکی
کلمات کلیدی
تقریب متوسط ​​موثر، بهینه سازی، ضریب شکست، بازتاب پذیرش نوری،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی (عمومی)
چکیده انگلیسی
The problem of determining the porous silicon (PSi) optical constants, thickness, porosity, and surface quality using just reflectance data is board employing evolutionary algorithms. The reflectance measurements were carried out of PSi films over crystalline silicon (c-Si) substrate, and the fitting procedure was done by using a genetic algorithm (GA). The PSi is treated as a mixture of c-Si and air. Therefore, its effective optical constants can be correlated with the porosity through effective medium approximation (EMA). The results show that genetic fitting has a good match with the experimental measurements (near UV-vis reflectance) and the thickness obtained by scanning electron microscopy (SEM).
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optik - Volume 173, November 2018, Pages 271-278
نویسندگان
, , ,