An acoustic emission sensor system for thin layer crack detection

ما روش جدیدی برای توصیف لایه نیمه هادی ارائه می دهیم که امکان تولید و تشخیص کراوات همزمان را براساس تست انتشار آکوستیک ایجاد شده ارائه می دهد. در این مقاله، مفهوم تست و مکانیزم شکست ناپذیر دندانه الماس با اندازه گیری موج آکوستیک بر لایه های اکساید، با استفاده از مدل سازی تحلیلی و شبیه سازی های کامپیوتری، توضیح داده شده است. برای این منظور طراحی نوآورانه یک سیستم سنسور-اندرتی توسعه داده شده و به صورت تجربی تایید شده است. در آزمایش های دیگر، روش تشخیص ترک های آکوستیک جدید با روش های بازرسی نوری اثبات شده و بازتولید خوب اندازه گیری نشان داده شده است. حساسیت بالا و رزولوشن این روش فرصت های جدیدی برای مشخص کردن خصوصیات لایه های ناز را در زمان و هزینه کمتر فراهم می کند. روش جدید با کارآیی بالا می تواند به ویژه برای واجد شرایط بودن فرایند برای آزمایش ویفر نیمه هادی استفاده شود، در حالیکه ترک های اکسیدی توسط پروب های تیز باعث القای شکست الکتریکی می شوند.