کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1483071 | 1510527 | 2008 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Three-dimensional high-aspect-ratio recording in resist
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سرامیک و کامپوزیت
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
We demonstrate a method of capillary force reduction during wet processing of three-dimensional structures photo-polymerized in resist by femtosecond pulses. A rinse in water was added as the final step of wet processing for recovery of free-standing photo-polymerized structures with feature sizes of ∼100 nm. The hydrophobicity of resist was utilized for reduction of the capillary drainage force. We show a possibility of holographical recording of a three-dimensional woodpile structure, which has a good permeability and can be fabricated by the proposed modified wet processing.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Non-Crystalline Solids - Volume 354, Issues 12–13, 15 February 2008, Pages 1194–1197
Journal: Journal of Non-Crystalline Solids - Volume 354, Issues 12–13, 15 February 2008, Pages 1194–1197
نویسندگان
Toshiaki Kondo, Saulius Juodkazis, Vygantas Mizeikis, Hiroaki Misawa,