کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1497103 992985 2006 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Polarization-insensitive PECVD SiC waveguides for sensor platform
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سرامیک و کامپوزیت
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Polarization-insensitive PECVD SiC waveguides for sensor platform
چکیده انگلیسی

Planar silicon carbide (SiC) waveguides are proposed for fabrication on a silicon substrate with a oxide isolation layer. Using post deposition annealing it is possible to achieve zero Polarization-Dependent Loss (PDL) within optical SiC waveguides fabricated using a low temperature deposition technique. The PDL mechanism is discussed and explained. Further, the optical propagation losses are improved leading to losses as low as 2 dB/cm.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optical Materials - Volume 28, Issue 4, March 2006, Pages 380–384
نویسندگان
, , , ,