کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1515885 | 1511549 | 2013 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Ru nanodot synthesis using CO2 supercritical fluid deposition
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
⺠Ruthenium nanostructures were synthesized on Si substrate and HfO2 film using CO2-based supercritical fluid deposition (SCFD). ⺠The size and distribution of ruthenium nanodots were controlled by the weight of Ru precursor and substrate temperature. ⺠Elevated temperature made an enlargement of Ru nanodot diameter. ⺠MIS device embedded Ru nanodots exhibited the hysteresis characteristics with flat band voltage of 0.5 V.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Physics and Chemistry of Solids - Volume 74, Issue 5, May 2013, Pages 664-667
Journal: Journal of Physics and Chemistry of Solids - Volume 74, Issue 5, May 2013, Pages 664-667
نویسندگان
Doyoung Kim, Han-Bo-Ram Lee, Jaehong Yoon, Hyungjun Kim,