کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1518415 | 1511617 | 2007 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Challenges of the mask manufacturing approaching physical limits
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
This paper will present some issues which must be solved in order to satisfy future needs for lithographic masks. The focus of the presentation is to examine shortcomings of materials used in today's technology and provides a description of the properties needed for future materials.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Physics and Chemistry of Solids - Volume 68, Issues 5â6, MayâJune 2007, Pages 926-930
Journal: Journal of Physics and Chemistry of Solids - Volume 68, Issues 5â6, MayâJune 2007, Pages 926-930
نویسندگان
Pavel Nesladek,