کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1680539 1518667 2015 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Ripple structures on ion bombarded surfaces arising from the sputter yield dependence on incidence angle
ترجمه فارسی عنوان
ساختارهای خمشی بر روی سطوح بمباران یونی ناشی از وابستگی اسپاتر به زاویه بروز
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
چکیده انگلیسی

It is shown that ripple structures on oblique incidence ion bombarded surfaces can be stable features under ion erosion without the necessity to invoke mass redistribution, surface diffusion or micro-roughening due to surface curvature dependent energy deposition. Instead the patterns are predicted to be a natural consequence of non-linear effects due to the dependence of the sputtering yield on the angle of incidence.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 352, 1 June 2015, Pages 213–216
نویسندگان
,