| کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
|---|---|---|---|---|
| 1681596 | 1518650 | 2016 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Micro-patterns fabrication using focused proton beam lithography
ترجمه فارسی عنوان
ساخت میکرو الگوهای با استفاده از لیتوگرافی پرتو پروتون
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
چکیده انگلیسی
After chemical etching, the quality of the bottom and side walls of the produced structures in PMMA were analyzed using Scanning Transmission Ion Microscopy (STIM).
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 371, 15 March 2016, Pages 344-349
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 371, 15 March 2016, Pages 344-349
نویسندگان
M. Cutroneo, V. Havranek, A. Mackova, V. Semian, L. Torrisi, L. Calcagno,