| کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
|---|---|---|---|---|
| 1682137 | 1518728 | 2012 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Cd ion implantation in AlN
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
⺠Cd ion implanted in AlN thin films. ⺠XRD shows damage produced during implantation. ⺠Annealing recovers damage in low fluence sample. ⺠RBS/C measurements show that Cd occupies substitutional sites. ⺠Cd can be a good candidate for p-type doping.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 289, 15 October 2012, Pages 43-46
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 289, 15 October 2012, Pages 43-46
نویسندگان
S.M.C. Miranda, N. Franco, E. Alves, K. Lorenz,