کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1687792 | 1010682 | 2007 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Concept for processing of silicon check valves by proton beam micromachining
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The other construction utilized the goniometer facility mounted on the microbeam chamber. We implanted the samples at 43° tilt, and developed the samples not as deep as the ion range. This way both the sidewalls and the membranes are attached to the bottom of the sample.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 260, Issue 1, July 2007, Pages 409-413
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 260, Issue 1, July 2007, Pages 409-413
نویسندگان
Cs. DücsoË, I. Rajta, P. Fürjes, E. Baradács,