کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1688406 | 1518969 | 2014 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A standard to test the dynamics of vacuum gauges in the millisecond range
ترجمه فارسی عنوان
یک استاندارد برای آزمایش پویایی سنج های خلاء در محدوده میلی ثانیه است
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
مترولوژی خلاء، فشار دینامیکی جریان تنگ شده زمان پاسخ، خلاء سنج،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
چکیده انگلیسی
Vacuum gauges that control fast processes in industrial applications, e.g. load locks, should immediately react to pressure changes. To study the response time of vacuum gauges to rapid pressure changes, a dynamic vacuum standard was developed where the pressure may change from 100Â kPa to 100Â Pa within 20Â ms in a step-wise manner or within longer times up to 1Â s in a predictable manner. This is accomplished by a very fast opening gate valve DN40 and exchangeable orifices and ducts through which the mass flow rate can be calculated by gas flow simulation software. A simple physical model can be used to approximate the calculations. Experiments have been performed with capacitance diaphragm gauges with improved electronics to give a read-out every 0.7Â ms. Preliminary results indicate that their response time is at most 1.7Â ms, but may be significantly less.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 100, February 2014, Pages 14-17
Journal: Vacuum - Volume 100, February 2014, Pages 14-17
نویسندگان
Karl Jousten, Sarantis Pantazis, Joachim Buthig, Regine Model, Martin Wüest, Jaroslaw Iwicki,