کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1688590 1518975 2013 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of magnesium silicide thin films by pulsed ion beam ablation in a 1.6 kJ plasma focus device
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Fabrication of magnesium silicide thin films by pulsed ion beam ablation in a 1.6 kJ plasma focus device
چکیده انگلیسی
► Deposition of magnesium silicide films on silicon (100) substrates. ► Using plasma focus device for the specific film deposition. ► Interactions between high energy magnesium ions and silicon (100) substrates. ► Analysis of structural properties of deposited films using XRD spectra. ► Analysis of surface morphology of deposited films using SEM and AFM images.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 94, August 2013, Pages 57-63
نویسندگان
, , , ,