کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1688723 | 1011184 | 2012 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
In-depth distribution of ion beam damage in SiC
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
⺠Alteration of SiC surface composition induced by low energy ion bombardment of Ar. ⺠Auger electron spectroscopy study based on low and high energy Auger peaks. ⺠Trial and error method to simulate the peak intensity changes. ⺠Carbon enrichment at surface that is more expressed at high incident angle bombardment.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 86, Issue 6, 27 January 2012, Pages 761-764
Journal: Vacuum - Volume 86, Issue 6, 27 January 2012, Pages 761-764
نویسندگان
A. Sulyok, M. Menyhárd, J.B. Malherbe,