کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1688797 1518979 2013 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Computational simulation of metal ion propagation from plasma to substrates with uneven surfaces
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Computational simulation of metal ion propagation from plasma to substrates with uneven surfaces
چکیده انگلیسی
► Plasma interaction with uneven surface was studied by computational simulation. ► Dependence of fluxes and energies of ions on the geometry is discussed. ► The role of sheath formation on results is emphasized.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 90, April 2013, Pages 109-113
نویسندگان
, ,