کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1688797 | 1518979 | 2013 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Computational simulation of metal ion propagation from plasma to substrates with uneven surfaces
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
⺠Plasma interaction with uneven surface was studied by computational simulation. ⺠Dependence of fluxes and energies of ions on the geometry is discussed. ⺠The role of sheath formation on results is emphasized.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 90, April 2013, Pages 109-113
Journal: Vacuum - Volume 90, April 2013, Pages 109-113
نویسندگان
Vojtech Hruby, Rudolf Hrach,